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Application : 반도체 Wafer Bumping RDL/UBM 공정 Cu Plating Process Cu 도금 장비 구성 Wafer Cu도금 장비 3D 설계 – 구성: 도금/Rinse
롤투롤 스퍼터 — 진공챔버내에서 금속/비금속을 필름표면에 증착하는 장비 — 증착 물질에 따라서 도전성, 절연성, 방열, 전자흡수등의 성능이 부여됨 — 초 극박 제조에