01. Cassette L/UL 02. Carrier L/UL 机器人 03. Baking Chamber 04. Carrier L/UL 真空机器人 05. 高真空泵 06. Carrier 安装旋转夹具 07. Sputtering maintenance UT/Door 08. Sputtering Chamber 09. 中真空泵/Chiller |
侧面的蒸镀厚度小于Top面,Film面的蒸镀厚度增大,
在进行Pick & Place工艺时,PKG Corner部位会发生蒸
镀膜剥落或蒸镀膜Burr。
– Carrier通过双向旋转,进行蒸镀时可产生角度 5~30˚,有利于Package侧面蒸镀。
– Top和侧面蒸镀厚度相对均匀。
– 很少发生Corner蒸镀脱落或蒸镀膜粘连。
– 1 Chamber清洗时间、Target更换时间短。